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真空(kong)爐擴(kuo)散泵有關(guan)的知(zhi)識

[2014/8/21]

    真(zhen)空爐系統(tong)中的油擴散泵是靠高速(su)蒸汽射流(liu)來(lai)攜帶氣(qi)體以(yi)達(da)到(dao)抽氣(qi)的目的,它(ta)工作(zuo)在高(gao)真空區域(yu),其工作壓(ya)強範圍爲(wei)10-2~10-6pa。油蒸汽從(cong)傘形噴咀(ju)(如i級(ji)噴咀)以超(chao)音(yin)速噴出後,其(qi)速度逐漸(jian)增大,壓力(li)及密度逐漸降低(di)。

    1.概(gai)述(shu) 油擴散(san)泵的工作原理(li)與水蒸汽噴射(she)泵相似(si),都是靠高速(su)蒸汽射流(liu)來(lai)攜帶氣體以(yi)達到(dao)抽氣的目(mu)的,故有如水蒸(zheng)汽噴射泵相似的特(te)點。不同點(dian)是擴散(san)泵工作(zuo)在高真空區域(yu),其工(gong)作壓(ya)強範圍爲10-2~10-6pa。廣(guang)泛用于(yu)電子、化工、冶金(jin)、機械、石油及原(yuan)子能(neng)等工業(ye)部(bu)門中。

    2.油擴散泵(beng)的工作(zuo)原理與(yu)結構

    當油蒸汽(qi)從傘(san)形(xing)噴咀(如(ru)i級噴咀(ju))以(yi)超音速噴出後(hou),其速(su)度逐漸增大,壓力及密度逐漸(jian)降(jiang)低,射流上邊(bian)的被抽氣(qi)體a因(yin)密度差要向蒸(zheng)汽射流(liu)中(zhong)擴散并被射流攜帶到水冷(leng)的泵壁(bi)處b,在b處(chu),工作蒸汽大(da)部分被冷凝成油(you)滴沿泵(beng)壁流(liu)回到油鍋中循環(huan)使用,而(er)被抽氣體在(zai)b處(chu)堆積、壓縮(suo),最後(hou)被下級射流攜(xie)帶走(zou),以達到逐級壓縮,最後被(bei)前級(ji)泵抽走(zou)。

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