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單晶爐長晶(jing)原(yuan)理是什(shi)麽

[2014/4/10]

     在(zai) 單晶爐 中可以進行一些(xie)操作(zuo),如果把(ba)高純度(du)的多晶矽(xi)原料(liao)放在高純度的(de)石英坩埚(guo)中,通(tong)過加熱(re)器的作(zuo)用,就會産生高溫,這(zhe)樣就會把(ba)它熔化。如(ru)果對(dui)熔化的(de)矽液進(jin)行降(jiang)溫處(chu)理,就會産生一定程(cheng)度的過冷度,然(ran)後(hou)再(zai)使(shi)用一個(ge)矽單晶(jing)體插在(zai)熔體的表面,需(xu)要使用固(gu)定在(zai)籽晶(jing)軸(zhou)上的矽單晶體。可以等(deng)這籽(zi)晶可以和(he)熔體相融合之(zhi)後,然後慢(man)慢的(de)往上(shang)拉(la)動(dong)籽晶(jing)。然後晶(jing)體就會(hui)在慢慢的(de)生長,可以生長成爲直徑(jing)3至5毫米的(de)細頸(jing)。

 

    這個細頸(jing)可以(yi)消(xiao)除高溫溶液産生的強(qiang)烈的沖擊(ji)作用(yong),這樣(yang)就會形成(cheng)一個(ge)錯(cuo)位,這個過程就是引晶(jing)。然後可以把晶(jing)體的直徑(jing)放大(da),将其放大到工藝所(suo)要求的大(da)小就可以,一般(ban)來說(shuo),這個長度是75至300毫米(mi),專業術語則可(ke)以把它稱爲(wei)放肩。如果突然(ran)将拉速(su)提高的話,使(shi)肩(jian)部形(xing)成一(yi)個直(zhi)角。然後(hou)單(dan)晶爐就會(hui)進入(ru)等徑工藝,通(tong)過對熱(re)場溫度(du)和晶體(ti)來提升下(xia)速度(du),這樣(yang)就(jiu)會生成(cheng)一定(ding)大小(xiao)的單(dan)晶柱體。
    如果很(hen)多矽溶液已經(jing)完成了結(jie)晶,就(jiu)可以(yi)把晶體慢(man)慢的縮小,直到縮(suo)小(xiao)爲一個尾形的椎(zhui)體就可(ke)以了,一(yi)般這個(ge)尾形椎體也被(bei)稱爲(wei)收(shou)尾工藝(yi)。這樣(yang)就可(ke)以把(ba)單晶的(de)拉制(zhi)過程完(wan)成操作,然後再(zai)經過一定(ding)的保(bao)溫冷卻就(jiu)可(ke)以将其取出(chu)來了。
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