單晶爐定義(yi)：

    單晶爐是一種在惰(duo)性(xing)氣體（氮(dan)氣、氦(hai)氣爲主）環(huan)境中(zhong),用石(shi)墨加(jia)熱器(qi)将多晶矽(xi)等多晶材料熔(rong)化,用(yong)直拉法生(sheng)長無錯位單晶的設備(bei)。

    單(dan)晶爐(lu)的型(xing)号與命名(ming)：

    單晶(jing)爐 型号有(you)兩種命(ming)名(ming)方式(shi)，一種爲投料量(liang)，一種爲爐室直徑。比(bi)如85爐，是指(zhi)主爐筒的(de)直徑大小，120、150等型号是(shi)由裝料量(liang)來(lai)決定的(de)

    技術要求(qiu)：

    1.單晶爐(lu)裝料量(liang)（單台(tai)機産能多(duo)少） 2. 能拉多長、幾(ji)寸的(de)矽棒 3. 拉制(zhi)晶棒的成(cheng)品率是多少4拉出矽(xi)棒品質(zhi)（少(shao)子壽(shou)命、電(dian)阻(zu)率、碳氧(yang)含量、位(wei)錯(cuo)密度） 5設備制造(zao)工藝(yi)控制(zhi)保證(zheng) 6自動(dong)化控(kong)制(zhi)程(cheng)度 7設(she)備主要關鍵部(bu)件的(de)配置等 。

    1、穩(wen)定的機架結構(gou)設計，增(zeng)強(qiang)了設(she)備在(zai)晶體生長過程(cheng)中的抗振(zhen)動能力。

    2、優(you)化的(de)液壓提升機構(gou)确保副爐室提(ti)升和(he)複位時的(de)運動平(ping)穩(wen)性。 

    3、與主機分(fen)離的(de)分(fen)水器設(she)計(ji)，在減(jian)少冷卻水振動對晶(jing)體(ti)生長的(de)影響(xiang)的同時優(you)化了(le)水(shui)路(lu)布局。 

    4、晶體和坩埚的(de)提升(sheng)采(cai)用雙電(dian)機結構，保證穩定的低生(sheng)長速(su)度以及(ji)坩埚(guo)和(he)籽晶的快(kuai)速定(ding)位。 

    5、采用(yong)無振動(dong)的高(gao)性能(neng)馬達和低噪(zao)聲的減(jian)速器驅(qu)動(dong)晶(jing)體和坩埚上(shang)升，可(ke)提供穩定(ding)的低生長速度。

    6、設備(bei)的真空(kong)條件和(he)在真空下(xia)的可(ke)控惰(duo)性氣(qi)體氣(qi)流使得(de)熱區清(qing)洗最佳(jia)化(hua)。氧化(hua)矽可(ke)以在不污(wu)染晶體(ti)和(he)晶(jing)體(ti)驅動裝(zhuang)置的條(tiao)件下排(pai)除(chu)。  

    7、帶隔(ge)離閥(fa)的副室可(ke)以在熱(re)區(qu)保持(chi)工作(zuo)溫度(du)的情(qing)況下，取出(chu)長成(cheng)的晶(jing)體或者更(geng)換籽晶。 

    8、對(dui)惰性(xing)氣體(ti)流量和爐(lu)室壓力高(gao)精度(du)的控(kong)制(zhi)能(neng)力，爲(wei)生長高(gao)品質單(dan)晶創(chuang)造了(le)條件。 

    9、爐蓋和(he)爐腔通(tong)過兩(liang)個提升(sheng)裝(zhuang)置提升，很方便(bian)的轉向(xiang)一(yi)邊快(kuai)捷地清(qing)洗。

    10、熔化(hua)溫度通過對加(jia)熱器溫(wen)度(du)的電(dian)控來維持和調節，加熱(re)電源采(cai)用直流供(gong)電提(ti)高了控制精度(du)。高品(pin)質的(de)加(jia)熱(re)器溫度測量傳感器實現了精确的(de)溫度控制。

    12、整(zheng)個晶體生長(zhang)過程由一個高可靠(kao)的可(ke)編程(cheng)計算機控(kong)制器（pcc）控制(zhi)，包括抽真(zhen)空(kong)、熔化、引(yin)晶縮(suo)頸、放(fang)肩(jian)、等經生(sheng)長和尾(wei)錐生長(zhang)，晶體(ti)生長全過(guo)程可實現(xian)全自(zi)動(dong)（ccd）控制(zhi)：。

    13、帶(dai)有數(shu)據和(he)報警(jing)過程(cheng)控制的可視化(hua)軟件，存(cun)儲在計算機(ji)的(de)硬盤中(zhong)。

    單(dan)晶爐(lu) 在使用(yong)時，爐(lu)體處(chu)于高(gao)溫工作狀(zhuang)态，并要求(qiu)各運動部(bu)件的(de)運動(dong)穩定可(ke)靠，精度高（尤(you)其是(shi)坩埚驅動(dong)裝置(zhi)和籽(zi)晶旋(xuan)轉及提升機構），工作時間長。因(yin)此，在(zai)使用(yong)過程(cheng)中，要注意設備(bei)的維護(hu)與保養(yang)。 

    坩埚(guo)驅(qu)動裝置(zhi) 

    坩埚驅動裝置要求的運動精(jing)度比(bi)較高(gao)，是設(she)備的核(he)心(xin)運動部件，應(ying)重點維(wei)護。坩埚(guo)軸(zhou)是石墨坩(gan)埚的(de)支撐(cheng)軸，應(ying)随時檢查(cha)其冷卻水(shui)的情(qing)況，以(yi)免(mian)燒損。坩(gan)埚驅動采用滾(gun)珠絲杠(gang)和直線(xian)導軌結構，是坩(gan)埚驅(qu)動的關鍵(jian)部件，需保(bao)持清(qing)潔，嚴(yan)禁灰塵、雜(za)物附着(zhe)，并定期(qi)塗抹(mo)潤滑脂。

    籽(zi)晶旋轉及提升機構(gou)的維修 

    籽(zi)晶旋轉及提升(sheng)機(ji)構也(ye)是單晶(jing)爐的(de)關(guan)鍵部(bu)件，該部件運(yun)行的(de)好壞(huai)直接(jie)影響(xiang)單晶(jing)的生長。因(yin)此，也須重點維護。  卷(juan)輪(lun)箱(xiang)是籽(zi)晶提(ti)升的(de)核心，卷輪箱(xiang)内的零件一(yi)般情況下不得随意拆除(chu)，必須拆(chai)除時，重新安裝時必須(xu)保證(zheng)軟軸對中。軟軸鋼絲繩在(zai)使用(yong)中不準有死彎現象(xiang)，并在(zai)每次開爐(lu)時檢查鋼(gang)絲繩(sheng)是否(fou)燒損，如有燒損(sun)應(ying)及時修整或(huo)更換新的鋼絲繩。

    其餘(yu)部件的(de)維修

    每(mei)次開單(dan)晶爐 前應檢查(cha)水路(lu)系統(tong)是否(fou)暢通，水溫檢(jian)測(ce)傳感器安(an)裝是否正(zheng)常。發(fa)現有(you)結垢時(shi)應及清理(li)。在拉晶(jing)過程(cheng)中，若發(fa)現水壓(ya)報警(jing)或漏水時要及時(shi)采(cai)取措施。  真(zhen)空管道的(de)過濾網(wang)每(mei)爐要清理一次，抽氣管道每20～30爐清理(li)一次。