單(dan)晶爐在運作過程中因爲一直(zhi)都會(hui)處于(yu)高溫的狀(zhuang)态下，對其(qi)他的零部件(jian)要求高(gao)且嚴格，因爲需要維持長(zhang)時間(jian)的(de)工作，所(suo)以(yi)需(xu)要特别注(zhu)意定期進行(hang)必要的維(wei)護保養(yang)。

1、坩埚驅(qu)動裝置要求的運(yun)動精度(du)比較高，是設(she)備的核心(xin)運動(dong)部件，應重(zhong)點維(wei)護。坩埚軸是石墨坩(gan)埚的支撐(cheng)軸，應(ying)随時檢查其冷(leng)卻水的情(qing)況，以(yi)免(mian)燒(shao)損。

坩埚驅(qu)動(dong)采用滾(gun)珠絲杠和直線導軌結構，是坩(gan)埚驅動的關鍵(jian)部件(jian)，需保(bao)持清潔，嚴禁(jin)灰(hui)塵、雜(za)物附(fu)着，并(bing)定期(qi)塗抹潤滑脂。

2、籽(zi)晶旋(xuan)轉及提(ti)升(sheng)機構的維(wei)修

籽晶旋(xuan)轉及提升(sheng)機構(gou)也是單晶爐(lu)的關鍵部件(jian)，該部件運(yun)行的好壞(huai)直接影響單晶的生長。因(yin)此，也(ye)須重點維(wei)護。

卷輪箱是籽晶提升(sheng)的核心(xin)，卷輪箱内的零(ling)件一(yi)般情(qing)況下(xia)不得随意拆除(chu)，必須(xu)拆除(chu)時，重(zhong)新安裝(zhuang)時(shi)必(bi)須保證軟軸對中(zhong)。軟軸鋼絲繩在使用中不準有(you)死彎現象(xiang)，并在(zai)每次(ci)開爐(lu)時檢(jian)查鋼絲繩(sheng)是否燒損，如有燒損(sun)應及(ji)時修整或(huo)更換新的(de)鋼絲(si)繩。

除了(le)上(shang)面的(de)兩點(dian)之(zhi)外，在每(mei)次開爐(lu)前應檢(jian)查水(shui)路系統是(shi)否暢通，水溫檢(jian)測傳(chuan)感器安裝(zhuang)是否正常(chang)。發現有結(jie)垢(gou)時(shi)應及(ji)時清理。在(zai)拉晶(jing)過程中，若發現(xian)水壓報警或漏(lou)水時(shi)要及時采(cai)取措施。真(zhen)空管(guan)道的(de)過濾網每(mei)爐要清理一次(ci)，抽氣管道每20～30爐(lu)清理一次(ci)。

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